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概述

有諦工業科技（上海）有限公司提供符合EIT-SEMIF57標準的FFKM全氟橡膠，FEP包覆和PEEK聚醚醚酮材料制成的各種半導體產業密封元件。

半導體設備，半導體材料以及晶圓制造（Wafer Fabr ication），晶圓測試（wafer Probe/Sorting)，蝕刻，CMP，CVD、芯片封裝（Assemble），測試（Test）及后期的成品（Finish Goods）等相關設備工藝需要使用超高純，低污染，低滲透，耐腐蝕，耐化學介質，耐等離子特性及壓縮變形冷流功能優異的密封元件。其中典型應用包括閥門O型圈，門密封，腔密封以及橡膠金屬腔體硫化連接。

應用場合

單晶爐，氧化爐，清洗機，蝕刻機Etching，化學物理沉積CVD/PVD，拋光設備CMP

解決方案

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